Решения для оптического газоанализа в производстве полупроводников: Сверхвысокоточный мониторинг
Производство полупроводников требует предельной точности на каждом этапе процесса. Даже следовые уровни загрязнения газами могут повлиять на качество пластин, снизить выход продукции и увеличить производственные затраты. Мониторинг таких газов, как NH₃, HF, HCl,...