Solutions optiques d'analyse des gaz dans la fabrication des semi-conducteurs : Surveillance de très haute précision
La fabrication de semi-conducteurs exige une précision extrême à chaque étape du processus. Une contamination gazeuse, même à l'état de traces, peut affecter la qualité des plaquettes, réduire le rendement et augmenter les coûts de production. La surveillance des gaz tels que NH₃, HF, HCl,...
