حلول التحليل البصري للغازات في تصنيع أشباه الموصلات: المراقبة فائقة الدقة
يتطلب تصنيع أشباه الموصلات دقة متناهية في كل مرحلة من مراحل العملية. حتى المستويات الضئيلة من تلوث الغازات يمكن أن تؤثر على جودة الرقاقة، وتقلل من الإنتاجية، وتزيد من تكاليف الإنتاج. يمكن أن تؤثر مراقبة الغازات مثل NH₃، HF، HCl، H...
