Soluciones de análisis óptico de gases en la fabricación de semiconductores: Monitorización de ultra alta precisión
La fabricación de semiconductores exige una precisión extrema en todas las fases del proceso. Incluso niveles mínimos de contaminación gaseosa pueden afectar a la calidad de las obleas, reducir el rendimiento y aumentar los costes de producción. La monitorización de gases como NH₃, HF, HCl,...